三氯氫硅級硅粉加工設備橋機械網
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該方法是用冶金級硅粉，作原料，與氯化氫氣體反應。可使用銅或鐵基催化劑。反應在和0。053下進行2Si+3+4+3H2該反應所用反應器經歷了從固定床、攪拌床到流化床的發展過程。工藝也從間歇發展到連續。反應器由碳鋼制成，預先將歸粒子加入到反應器，加熱到所需地溫度后，從底部連續通入氯化氫氣體，產物及未反應物料被連續輸出，經除塵精制后，用于生產高純多晶硅和高純硅烷。上述反應是放熱反應，反應熱為141。8千焦升高溫度有利于提高反應速率，但同時導致三氯氫硅選擇性下降，通過優化反映溫度，可明顯提高三氯氫硅的選擇率。例如在度和2到5千帕條件下使硅和氯化氫反應，產物以千克
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